VPSA制氧機裝置維修工作量少，費用低，如冷卻水供應故障及電力故障等，設備正常維修約每年5天，用于風機真空泵注油，動設備的定期維修頤養和操作人員負責空氣過濾器之無紡布的定期更換等，分子篩使用壽命10年以上，切換閥門閥座一般兩三年方更換一次，真空泵軸承及油封在正常使用條件下壽命為三至五年。   

     深冷裝置在低溫下運行，運轉機器較復雜，所以維修費用及頤養時間均比VPSA裝置多，并且深冷空分有運轉周期，小型設備運行幾個月就需進行加大溫，用蒸汽對設備及管路進行吹掃解凍，加溫解凍時間一般為36小時，停車時間較長。